化学品供应系统 -CDS

功能介绍

CDS主要用于各先进面板及芯片加工工厂中供给酸、碱、有机等化学品至相关设备

产品应用

涵盖国内外面板、半导体、光伏等行业，用于液晶面板、芯片等生产制程中各工艺制程设备的化学品供应

技术优势

● 双桶设计，自动切换；Drum自循环预过滤功能
● Drum区域配置HEPA，保证在更换酸桶时维持正压
● Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染
● 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应
● 主部件N+1配置，稳定性好、效率高

研磨液供应系统 -SDS

功能介绍

SDS主要用于各先进面板及芯片加工工厂中供给高纯度化学品以研磨芯片或面板，并集中回收化学品液体

产品应用

涵盖国内外面板、半导体、光伏等行业，用于液晶面板、芯片等生产制程中各工艺制程设备的研磨液供应

技术优势

● 双桶设计，自动切换；Drum自循环预过滤功能
● 自备循环扰流功能，避免研磨液结晶和沉淀
● Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染
● 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应
● 主部件N+1配置，稳定性好、效率高