FPD Stocker

功能介绍

Stocker-Crane（主设备）用于洁净车间内24小时不间断高效率地进行物料的传递及临时存储 

产品应用

涵盖国内外G4.5~G10.5的面板生产工厂，适用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等

技术优势

• ● 四驱动方式搬送，搬送能力更强，更稳定可靠

● BCR+磁栅尺机械结构，精确确认Crane位置信息
● Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高
● CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高

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FPD OHCV

功能介绍

高空搬送车(Overhead Conveyor)，主要负责Stocker之间的卡匣搬运

产品应用

涵盖国内外G4.5~G10.5的面板生产工厂，适用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等

技术优势

● Port口采用四点式浮动微调机构，精确定位卡匣

● 卡匣承载部采用自动水平检测机构，承载平稳可靠

● CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高

● 升降导向采用四方向曲柄摇杆机构，结构紧凑、精度高、承载力强

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FPD OHS

功能介绍

高空穿梭车(Overhead Shuttle)，负责Stocker间的高效物流传送，可弯道传送和多台配备，多用于低世代生产线

产品应用

涵盖国内外G4.5~G10.5的面板生产工厂，适用于TFT-LCD Cassette、OLED Cassette、Cutting Panel Cassette等

技术优势

● 浮动式自动定位机构，精确定位卡匣
● 承载部采用自动水平检测机构，承载平稳可靠
● CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高
● BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信
● 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞

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SEMI Stocker

功能介绍

Stocker-Crane（主设备）主要用于洁净车间内晶圆的临时存储，可以缩短一工艺设备流程结束后到下一工艺设备流程开始之间的时间差

产品应用

涵盖国内外6~12英寸的半导体晶圆生产工厂，适用于OHT-FOUP、SMIF Pods等

技术优势

● Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高
● BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信
● 自动Teaching机构，自动调整并保存设备位置信息，效率高、移栽精度高
● 自带润滑膜的滚轮-齿条结构，负载能力强、精度高、可靠性高、洁净度高

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SEMI OHT

功能介绍

空中走形式无人搬送车(Overhead Hoist Transport)，负责洁净车间内不同制程设备之间物料的自动化搬运

产品应用

涵盖国内外6~12英寸的半导体晶圆生产工厂，适用于OHT-FOUP、SMIF Pods等

技术优势

● 自主研发单驱动多层取料，空间小、精度高
● 物料抓取防晃动设计，准确定位并抓取物料，稳定性高
●CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高
● BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信
● 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞